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LED藍寶石基板與芯片背部減薄制程

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  • 更新日期:2014-06-07 11:31
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       目前在LED制程中,藍寶石基板雖然受到來(lái)自SiGaN基板的挑戰,但是考慮到成本與良率,藍寶石在近兩年內仍然具有優(yōu)勢,可以預見(jiàn)接下來(lái)藍寶石基板的發(fā)展方向是大尺寸與圖案化(PSS)。由于藍寶石硬度僅次于鉆石,因此對它進(jìn)行減薄與表面平坦化加工非常困難,在逐漸的摸索中,業(yè)界形成了一套大致相同的對于藍寶石基板進(jìn)行減薄與平坦化的工藝。
 
 
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